狹縫是指光譜儀的主要部件之一。狹縫是一條寬度可調(diào)、狹窄細(xì)長(zhǎng)的縫孔。有固定狹縫,單邊可調(diào)的非對(duì)稱式狹縫和雙邊可調(diào)的對(duì)稱狹縫。狹縫片主要應(yīng)用于精密光譜儀,分析儀器等。光輻射經(jīng)光譜儀色散分光后的每條譜線,都是入射狹縫的像。進(jìn)入單色器或從單色器出射的輻射,均由狹縫寬度調(diào)節(jié)?,F(xiàn)代光譜儀中狹縫與光柵的轉(zhuǎn)動(dòng)耦合在一起,可自動(dòng)調(diào)節(jié)。
狹縫應(yīng)用領(lǐng)域:
1. 入射狹縫: 在入射光的照射下形成光譜儀成像系統(tǒng)的物點(diǎn)。
2. 準(zhǔn)直元件: 使狹縫發(fā)出的光線變?yōu)槠叫泄?。該?zhǔn)直元件可以是一獨(dú)立的透鏡、反射鏡、或直接集成在色散元件上,如凹面光柵光譜儀中的凹面光柵。
3. 色散元件: 通常采用光柵,使光信號(hào)在空間上按波長(zhǎng)分散成為多條光束。
4. 聚焦元件: 聚焦色散后的光束,使其在焦平面上形成一系列入射狹縫的像,其中每一像點(diǎn)對(duì)應(yīng)于一特定波長(zhǎng)。
5. 探測(cè)器陣列:放置于焦平面,用于測(cè)量各波長(zhǎng)像點(diǎn)的光強(qiáng)度。該探測(cè)器陣列可以是CCD陣列或其它種類的光探測(cè)器陣列。
其主要加工方式分為三種
1、線切割:此種工藝加工的狹縫,狹縫周邊會(huì)有一些缺陷。由于線切割會(huì)產(chǎn)生一些油污等,需要后期清理,清洗要干凈。另外,線切割由于絲的快慢直接影響到縫的垂直邊的直線度,所以盡量用使用慢走絲加工。關(guān)鍵處的下刀和收刀的口的銜接部份,需要后期毛剌的拋光處理。相對(duì)來(lái)說(shuō)效率比較低,而且對(duì)于一些超薄材料的加工,不太適合。線切割加工的縫隙寬度一般都在0.2mm以上,對(duì)于一高精密的狹縫是不能滿足要求的。
2、激光加工:激光加工狹縫比線切割的效率要快。但也存在切割加工的一些不足,比如:下刀和收刀口的棱邊處理。由于激光是通過(guò)光溫?zé)胁牧?,容易在縫的周邊存留一下殘?jiān)瑲堅(jiān)念伾际呛谏液茈y清理。激光加工的的縫可以達(dá)到0.1mm。但是,放大N倍后,波浪紋的存在是其缺陷。另外,激光加工狹縫容易通過(guò)高溫改變材料的性質(zhì),對(duì)于一些特殊材料的材料,容易產(chǎn)生影響。
3、蝕刻加工 :也稱光化學(xué)蝕刻,指通過(guò)曝光制版,將要蝕刻區(qū)域的保護(hù)膜去除,在蝕刻時(shí)接觸化學(xué)溶液,達(dá)到溶解腐蝕的作用,形成凹凸或者鏤空成型的效果。使用這種方法生產(chǎn)的產(chǎn)品網(wǎng)孔垂直,均勻,無(wú)毛刺,無(wú)缺口,產(chǎn)品正反面光滑、無(wú)凸起、無(wú)凹坑、網(wǎng)片平整無(wú)變形,尺寸精細(xì),而且不需要打磨、拋光,生產(chǎn)周期短,應(yīng)變快,修改設(shè)計(jì)方便。